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標(biāo)準(zhǔn)模型
工業(yè)規(guī)格
自動的X-Y平臺
自動調(diào)焦

產(chǎn)品規(guī)格

波長范圍	400~800nm
測量范圍	100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
透鏡大小	M5x,M10x,M20x
測量光斑尺寸	40㎛，20㎛，10㎛
測量層數(shù)	3
樣品臺尺寸	300mmX300mm
X,Y軸重現(xiàn)性,	±2.5㎛
Z軸重現(xiàn)性	±2㎛
可選部分	SRM(標(biāo)準(zhǔn)參考樣片) 光學(xué)透鏡 M50X(光斑尺寸:4㎛) 樣品臺可擴(kuò)至370mmX470mm

產(chǎn)品特征

快速測量&操作簡便 非接觸&非破壞性 良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性 測量可達(dá)3層&測量精度良好 自動平臺控制&自動聚焦功能 具有2D/3D繪制圖與曲面輪廓 需加防震臺

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe... 介質(zhì)材料:SiO2,Si3N4,TiO2,ITO,ZrO2,BTS,HfO2 Polymer:PVA,PET,PP,PR... LCD:a-Si,n+a-Si,氧化物，ITO,屏間隙，光刻膠與酰亞胺薄膜，石英 Optical Coating:Hardness涂層，增透膜,Filters,Packing & Functional Film Recordable 材料：光感導(dǎo)鼓，攝像頭，光盤... 其他：示波管上的光阻薄膜材料與掩膜板，薄金屬膜，激光鏡,ALQ3...